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在线式洁净氮气固化炉 垂直固化炉

在线式洁净氮气固化炉 垂直固化炉

产品简介:

浩宝HGO在线式洁净氮气固化炉全自动、高洁净、低残氧 伴随着电子及新能源产业的发展,功率半导体、半导体等领域的封装需求快速发展。但SiC、IGBT等模块或器件封装时,需求全自动批量生产、低残氧量、高洁净度的烘烤固化设备,而目前设备难以满足,造成所用人工多、烘烤时产品易氧化、洁净度不达标等弊端,导致固化效率低、良品率低、成本高等问题。

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技术参数

在线式洁净氮气固化炉 垂直固化炉


设备品牌:浩宝
设备型号:HGO
设备产地:中国


在线式洁净氮气固化炉全自动、高洁净、低残氧
伴随着电子及新能源产业的发展,功率半导体、半导体等领域的封装需求快速发展。但SiC、IGBT等模块或器件封装时,需求全自动批量生产、低残氧量、高洁净度的烘烤固化设备,而目前设备难以满足,造成所用人工多、烘烤时产品易氧化、洁净度不达标等弊端,导致固化效率低、良品率低、成本高等问题。


在线式洁净无氧固化炉

针对以上痛点,浩宝技术团队研发出一款在线式洁净氮气垂直固化炉,可全自动批量化生产,有效避免器件氧化,洁净度高,为半导体和功率半导体封装制造企业带来高效率、高良品率的解决方案。

在线式洁净无氧固化炉核心技术及优势
高洁净度,满足无尘化生产要求
设备采用无尘设计及特殊材质,避免传输和烘烤过程产生粉尘;并采用高效过滤和清洁系统,密闭性好,使得烘烤冷却过程达到万级、千级等更高洁净度,满足无尘化生产要求。



碳化硅半桥模块生产工艺流程图

高均温性,出品一致性好
设备采用优秀的加热、温控模块及独特的风道、腔体设计,可确保高的加热效率和温度均匀性,均匀度+3℃以内使得烘烤固化稳定,出品一致性高。

全自动生产,大幅减少人工
设备采用模块化结构、自动化生产设计,实现了上下料、烘烤、冷却等全自动、在线式生产,生产效率高,产能可根据客户需求进行增减、调整。设备可对接MES系统,实现工业4.0,对设备进行远程监控和智能管理。

低残氧量,避免金属氧化
设备采用申请专利的独特结构及加热、冷却一体式腔体设计,可在加热和冷却过中充氮气进行保护,残氧量控制在500PPM以内或更低,可有效避免金属等器件氧化。腔体设计、装配密封性好,耗氮量少,每个腔体仅12m/Hm³以内。


碳化硅半桥模块生产工艺流参数


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